多晶硅用石墨件
2020-02-14T17:02:07+00:00
多晶硅还原炉用石墨组件及其使用方法与流程
1本发明涉及石墨组件结构技术领域,更为具体地,涉及一种多晶硅还原炉用石墨组件和多晶硅还原炉用石墨组件的使用方法。 背景技术: 2多晶硅是用于生产半导体和太阳能 生产单晶硅、多晶硅用石墨部件 在这个领域里,主要有如下石墨制品 1 生产多晶硅用石墨热屏、石墨电极和石墨卡瓣、夹头 2 铸造多晶硅用石墨热场 3 拉制单晶硅、锗、及III/V族化合物单 生产单晶硅、多晶硅用石墨部件阿里巴巴 西门子法生产多晶硅过程中,需要使用大量的石墨件,平均每生产 1吨多晶硅,就需要 2—3套石墨件。 石墨件在多晶硅生产过程中直接与高纯多晶硅接触。石墨件在高温下可以 协会标准多晶硅生产用石墨制品送审稿006doc 协会标准《多晶硅生产用石墨制品》 (送审稿) 编制说明 一、工作简况 1、项目简介 目前,我国生产多晶硅仍以西门子法为主。 西门子法生产多晶硅过程中, 需要使用大量的 协会标准多晶硅生产用石墨制品送审稿(6页)原创力文档
石墨制品在半导体、光伏产业领域的应用 深圳市石金科技
电子工程用石墨制品,首先是实现在半导体工业中得到应用。 进入21世纪,光伏产业得到了迅速的发展,太阳能电池用多晶硅锭材料在产量与市场上都出现了突飞猛进的增大,这 传统的多晶硅还原炉用石墨组件主要为两种方式: 一种方式为三件套式,包括石墨底座、石墨螺帽和石墨卡瓣三部分。 石墨底座上端有螺纹,可与石墨螺帽旋拧在一起,石墨螺帽中心为孔洞,用于石墨卡瓣部分通过,卡瓣放置于石 详解晶硅石墨卡瓣,用途超级广泛,还原炉用,纯度高超 石墨件在多晶硅生产过程中直接与高纯多晶硅接触。 石墨件在高温下能 够与氢气反应形成甲烷等烃类物质,甲烷遇红热硅棒即重新分解成碳和氢, 碳与硅一起沉积,造成多晶硅碳含量增 协会标准多晶硅生产用石墨制品送审稿百度文库 在现有技术条件下,高纯石墨制品在多晶硅生产中的应用具有不可替代性,因此如果要尽量降低石墨件对多晶硅的污染,必须从石墨件的自身质量着手。 首先,选用杂质含量较低的高纯 石墨材料在光伏行业中的应用
西格里石墨R6510 多晶硅铸锭炉
半导体及光电子工业用石墨: 1、切硅棒用石墨垫 2、拉光纤用石墨部件 3、非晶带材石墨模具 4、电器用石墨片及石墨块 5、电子束蒸发用石墨内衬 6、玻璃金属封装用石墨 高纯化、大尺寸是未来光伏单晶用石墨件的主要发展趋势;C/C复合材料会对单晶石墨件造成一定冲击,但不会完全代替石墨件;光伏行业是等静压石墨最主要的市场,等静压石 石墨材料在光伏单晶领域应用 光伏行业 山东双瑜碳素有限公司 石墨和硅芯受加工精度,质量,结构等因素常各类故障,石墨和硅芯贴合不好,造成亮点、倒棒,石墨上生长硅未结合一起,造成根部开裂等。3传统的多晶硅还原炉用石墨组件主要为两种方式:一种方式为三件套式,包括石墨底座、石墨螺帽和石墨卡瓣三部分。一种多晶硅新型还原炉用石墨组件的制作方法生产单晶硅、多晶硅用石墨部件 在这个领域里,主要有如下石墨制品 1 生产多晶硅用石墨热屏、石墨电极和石墨卡瓣、夹头 2 铸造多晶硅用石墨热场 3 拉制单晶硅、锗、及III/V族化合物单晶硅用石墨热场 4 切单晶棒用石墨垫 5 区熔半导体材料和其他金属用石墨舟皿和坩埚 6 硅外延用石墨舟、液相外延用石墨舟,金属有机物气相外延用石墨舟和等离子体蚀刻化学气相沉积用石墨舟 生产单晶硅、多晶硅用石墨部件阿里巴巴
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西门子法生产多晶硅过程中,需要使用大量的石墨件,平均每生产 1吨多晶硅,就需要 2—3套石墨件。 石墨件在多晶硅生产过程中直接与高纯多晶硅接触。石墨件在高温下可以与氢气反应形成甲烷等烃类物质,甲烷遇红热硅棒即 本实用新型属于多晶硅生产技术领域,具体涉及一种新型石墨组件。 背景技术: 多晶硅生产过程是用石墨件将硅芯和电极连接起来,通电后硅芯表面发热产生高温,然后三氯氢硅和氢气在高温硅芯表面发生气相化学沉积反应,硅芯直径不断变大。 目前常用的石墨件有三件套(卡瓣、石墨盖、石墨座),两件套(子弹头和石墨座),三件套石墨由于安装和拆卸时都较为繁琐 一种新型石墨组件的制作方法 多晶硅是光伏产业链重要的上游环节。 光伏制造主产业链包括上游多晶硅料,中游硅片/硅锭、电池、组件,以及下游光伏电站。 多晶硅按照下游应用领域不 同,可分为太阳能级多晶硅和电子级多晶硅,其生产一般是以纯度99%左右的工业 硅为原料,经过各种物理或化学方法提纯后,使硅纯度到达6N(即999999%)以 上的高纯硅材料。 一般太阳能级多晶硅的纯度要求 多晶硅行业深度报告:供需、技术与龙头对比分析财经头条 因为床内颗粒的长时间磨蚀,常用的金属材料会给反应体系带入大量的金属污染,较为常见的解决思路是运用石墨、碳化硅等材质作为反应器内衬或涂覆在金属壁面上。 同时也需要防止高温气体腐蚀金属管道带入金属杂质影响多晶硅产品纯度。 目前,国内市场仅有保利协鑫能源旗下的江苏中能硅业实现了硅烷流化床法多晶硅产业化生产。2017年保利协鑫收购了美 一文读懂多晶硅及其产业形势腾讯新闻
石墨材料在光伏单晶领域应用 光伏行业 山东双瑜碳素有限公司
高纯化、大尺寸是未来光伏单晶用石墨件的主要发展趋势;C/C复合材料会对单晶石墨件造成一定冲击,但不会完全代替石墨件;光伏行业是等静压石墨最主要的市场,等静压石墨件会随着光伏市场的快速增长而增长;预计2020年光伏新增装机量超过140GW,晶体生长用等静压石墨件市场扩大到30亿元。 此文关键词:多晶硅、石墨、膨胀石墨、阻燃石墨 上一篇: 暂无 改良西门子法一直是多晶硅生产最主要的工艺方法,目前全世界有超过85%的多晶硅是采用改良西门子法生产的。 过去很长一段时间改良西门子法主要用来生产半导体行业电子级多晶硅(纯度在99%~99%,即9N~11N的多晶硅);光伏市场兴起之后,太阳能级多晶硅(对纯度的要求低于电子级)的产量迅速上升并**超过了电子级多晶硅,改良西门法 多晶硅研究系列1:三大生产工艺的比较 1多晶硅的生产工艺 公司所在行业上游原材料主要包括高纯度多晶硅、高纯度石英坩埚、石墨件等。 高纯度多晶硅存在一定的规格差异,按照行业标准可以分为三级,刻蚀设备用硅材料除部分高规格产品需要用电子一级多晶硅之外,大部分产品可以采用全部规格电子级多级硅。 全球范围内,高纯度多晶硅的主要供应商为德国瓦克、日本三菱材料、日本 Tokuyama Corporation 等公司;国内供 刻蚀设备用硅材料市场情况 知乎5《银川隆基单晶硅制造用石墨件产能提升项目环境影 响报告表》(报批稿,2020 年 4 月); 6银川经济技术开发区管委会建设和生态环境局《关于 同意银川隆基单晶硅制造用石墨件产能提升项目环境影响 报告表的函》(银开建发[2020]29 号),2020 年 5 月 18 日;银川隆基单晶硅制造用石墨件产能提升项目竣工环境保护验收
石墨材料在铸锭多晶硅制造中的应用石墨多晶硅人人范文网
多晶硅铸锭炉中,多个组件是需要石墨材料。 特别是加热器中使用的加热材料高纯石墨,以及加热器中使用的隔热材料高纯碳毡隔热材料,是目前重要的配套材料。 ﹙1﹚ 加热器中使用的加热材料高纯石墨材料 在多晶硅铸锭炉设计上,为使硅料熔融,必须采用合适的加热方式。 从加热的效果而言,感应加热和辐射加热均可以达到所需的温度。 一般多采用辐射加热方式 协会标准多晶硅生产用石墨制品送审稿pdf,文档来源为 :从网络收集整理 word 版本可编辑 欢迎下载支持 协会标准《多晶硅生产用石墨制品》 (送审稿) 编制说明 一、工作简况 1、项目简介 目前,我国生产多晶硅仍以西门子法为主。西门子法生产多晶硅过程中, 需要使用大量的石墨件,平均每 协会标准多晶硅生产用石墨制品送审稿(6页)原创力文档石墨件在多晶硅生产过程中直接与高纯多晶硅接触。 石墨件在高温下能 够与氢气反应形成甲烷等烃类物质,甲烷遇红热硅棒即重新分解成碳和氢, 碳与硅一起沉积,造成多晶硅碳含量增加,影响多晶硅质量。 因此,多晶硅 生产对石墨件具有严格的要求。 本标准的制定有利于规范多晶硅生产用石墨 件的产品质量,为多晶硅生产用关键耗材的选择提供可靠依据,促进国产多 晶硅产品 协会标准多晶硅生产用石墨制品送审稿百度文库 多晶硅是光伏产业链重要的上游环节。 光伏制造主产业链包括上游多晶硅料,中游硅片/硅锭、电池、组件,以及下游光伏电站。 多晶硅按照下游应用领域不 同,可分为太阳能级多晶硅和电子级多晶硅,其生产一般是以纯度99%左右的工业 硅为原料,经过各种物理或化学方法提纯后,使硅纯度到达6N(即999999%)以 上的高纯硅材料。 一般太阳能级多晶硅的纯度要求 多晶硅行业深度报告:供需、技术与龙头对比分析财经头条
什么叫石墨热场?石墨热场有哪些部件?
在石墨热场系统中,大大小小的石墨加工件好多种,我们常见的有石墨加热器、石墨坩埚、石墨托盘、石墨上中下保温桶 石墨护盘 石墨电极 石墨中轴、石墨电极套、石墨紧固件等,当然这些只是其中的一部分。 太阳能是再可生的清洁能源,单晶硅和多晶硅是 改良西门子法一直是多晶硅生产最主要的工艺方法,目前全世界有超过85%的多晶硅是采用改良西门子法生产的。 过去很长一段时间改良西门子法主要用来生产半导体行业电子级多晶硅(纯度在99%~99%,即9N~11N的多晶硅);光伏市场兴起之后,太阳能级多晶硅(对纯度的要求低于电子级)的产量迅速上升并**超过了电子级多晶硅,改良西门法 多晶硅研究系列1:三大生产工艺的比较 1多晶硅的生产工艺 325 其他影响因素 除上述以外,硅油、石墨件等也会引起影响多晶硅质量油状物是还原过程中 于低温 处 (低于300C)产生的。 硅油是一种大分子量的高分子硅卤化物 (SiCl )n (H2)n其中含25% 油状物质。 硅油的产牛导致大量的硅化物的损失,降低牛产效率,此 外硅油有强烈的吸水 陛,因而拆炉时硅油强烈吸收空气中水分,同时游离出氯化 氢腐蚀设备,还会引起自燃爆 年产10吨高纯多晶硅的生产工艺设计毕业设计 豆丁网共 10件 润凯石墨 板 相关产品 所有类目 实力商家 买家保障 进口货源 支持支付宝 材质保障 综合 销量 价格 确定 起订量 以下 确定 所有地区 经营模式 生产加工 经销批发 润凯石墨板润凯石墨板批发、促销价格、产地货源 阿里巴巴
刻蚀设备用硅材料市场情况 知乎
公司所在行业上游原材料主要包括高纯度多晶硅、高纯度石英坩埚、石墨件等。 高纯度多晶硅存在一定的规格差异,按照行业标准可以分为三级,刻蚀设备用硅材料除部分高规格产品需要用电子一级多晶硅之外,大部分产品可以采用全部规格电子级多级硅。 全球范围内,高纯度多晶硅的主要供应商为德国瓦克、日本三菱材料、日本 Tokuyama Corporation 等公司;国内供 5《银川隆基单晶硅制造用石墨件产能提升项目环境影 响报告表》(报批稿,2020 年 4 月); 6银川经济技术开发区管委会建设和生态环境局《关于 同意银川隆基单晶硅制造用石墨件产能提升项目环境影响 报告表的函》(银开建发[2020]29 号),2020 年 5 月 18 日;银川隆基单晶硅制造用石墨件产能提升项目竣工环境保护验收